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NNS-XY100Z15-01 重载XYZ三维纳米定位平台
NNS-XY100Z15-01是一款高精度三维纳米定位平台。具有尺寸小，频率高，带宽高，精度高的特点。行程100/100/15μm，分辨率 0.5/0.5/0.1nm。
典型应用
• 显微成像 • 光学对准
• 光学测量 • 样品对准
• 表面检测 • 纳米定位
• 精密加工
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