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NS-XY400Z200-01 超大行程XYZ三维纳米定位台
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产品编号
NS-XY400Z200-01
所属分类
三维纳米台
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产品描述
产品规格
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NS-XY400Z200-01 超大行程XYZ三维纳米定位台
NS-XY400Z200-01是一款高精度超大行程三维纳米定位平台，闭环行程可达400/400/200μm，闭环分辨率 3/3/2.5nm。
典型应用
• 显微成像 • 激光加工
• 表面检测 • 光学测量
• 半导体加工
关键词:
纳米位移台
压电定位台
高精度定位台
压电陶瓷
柔性铰链
电控滑台
电控位移台
三维定位平台
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NS-XY400Z200-01.x_t
大小：2023-09-26 15:08:14
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