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NNS-Z200RXY2-01 高精度三维纳米定位平台
NNS-Z200RXY2-01是一款高精度纳米运动平台。集成Z轴和Rx/Ry在一起,结构紧凑。电容传感器全闭环控制,精度高。大通孔设计,阳极氧化黑工艺,满足多场景应用。
典型应用
• 光学对准 • 样品对准
• 集成光学 • 光学测量
• 纳米定位 • 精密加工
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