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NNS-Z250-01 Z轴纳米定位平台

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NNS-Z250-01 Z轴纳米定位平台

NNS-Z250-01是一款Z轴方向的运动台,闭环行程250μm,闭环分辨率0.6nm。可更换不同的物镜接口,用于物镜调焦及扫描。

 

典型应用

• 显微成像
• 物镜调焦及扫描
• 晶圆切割
• 高精度自动对焦
• 微电子精密加工

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  • NNS-Z250-01(RMS螺纹)模型.step

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  • NNS-Z250-01(RMS螺纹)模型.x_t

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