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NS-XY200Z15-01 重载XYZ三维纳米定位平台
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产品编号
NS-XY200Z15-01
所属分类
三维纳米台
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1
产品描述
产品规格
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NS-XY200Z15-01 重载XYZ三维纳米定位平台
NS-XY200Z15-01是一款高精度大负载三维纳米定位平台，负载可达5kg。闭环行程可达200/200/15μm，闭环分辨率 0.8/0.8/0.1nm。
典型应用
• 显微成像 • 激光加工
• 表面检测 • 光学测量
• 半导体加工
关键词:
高精度运动控制系统
纳米位移台
压电定位台
三维位移台
电控位移台
滑台
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