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NS-XY100Z15-01 重载XYZ三维纳米定位平台
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产品编号
NS-XY100Z15-01
所属分类
三维纳米台
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1
产品描述
产品规格
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NS-XY100Z15-01 重载XYZ三维纳米定位平台
NS-XY100Z15-02是一款高精度大负载三维纳米定位平台，负载可达5kg。闭环行程可达100/100/15μm，闭环分辨率 0.5/0.5/0.1nm。
典型应用
• 激光加工 • 显微成像
• 表面检测 • 光学测量
• 半导体加工
关键词:
压电定位台
高精度位移台
亚纳米级定位平台
压电陶瓷平台
柔性铰链
三维移动平台
滑台
位移台
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