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NS-XY5Z5-01 微型XYZ三维纳米定位平台
NS-XY5Z5-01是一款高精度微型三维纳米定位平台。具有体积小,高谐振频率,高稳定性等特点。行程5μm,分辨率 0.1nm。
典型应用:
• 激光加工 • 表面分析
• 光学测量 • 显微成像
• 光学对准
关键词:
三维位移台
纳米精度位移台
压电陶瓷平台
纳米位移平台
高精度滑台
电控滑台
电控位移台
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